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• 중앙 화학 약품 공급 장치, 中央化學藥品供給裝置, Central Chemical Supply System, CCSS

  평면 표시 장치(FPD) 및 반도체 제조 공정에서 사용되는 각종 화학 약품을 일정한 장소에서 필요한 시기에 적정한 양을 자동으로 공급하는 시스템. 사용 지점(point of use)에서 보내는 신호에 따라 약품(산, 현상제, 스트립퍼, 유기류 등)이 보관 탱크로부터 반도체 제조 장소로 직접 공급된다. 펌프 제어 및...